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특징
기본 성능
- 일체형 열 플레이트를 사용하여 온도 분포 성능은 ±3℃ 이내를 실현
- 클린룸(클래스 1000) 대응 가능
- 60초 이내에 133Pa 이하의 진공도에 도달
- 온도 조절용 열전대에는 더블 엘리먼트형을 채용
안전성
- 열 플레이트의 과열 검출 알람 기능
열 플레이트 히터의 단선 검출 알람 기능 장착
조작성
- 태양전지 모듈 이외의 라미네이트 용도에도 적용 가능
- 수동으로 챔버를 개폐 가능
유효 가공 면적
| PVL0202S |
200mm x 200mm |
| PVL0303S |
300mm x 300mm |
| PVL0505S |
500mm x 500mm |
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