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특징
- 연마제를 사용하지 않기 때문에 찌꺼기로는 박리된
박막만 발생.세정장치를 설치할 필요가 없음
- 진개가 급감하므로 클린룸 내에도 설치 가능
- 가공 시간의 대폭 단축을 실현
샌드블래스팅과의 비교
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레이저 박리 |
샌드블래스트+세정 |
| 점유 공간 |
공간 절약형 |
점유 공간이 크다. |
| 장치를 둘러싸고 분진의 비산을 억제할 필요가 있다. |
| 세정 |
드라이 클리너 등으로 찌꺼기 회수 |
세정 공정이 필요하다. |
| 막에 미치는 영향 |
박리부 이외의 막에 미치는 영향은 없다. |
흩날린 연마제가 막 표면에 흠을 낼 수 있으며
모듈의 출력을 저하시킬 수 있다. |
| 기타 |
유리 기판의 찌꺼기가 극히 적고 후처리가
용이 |
세정 후에도 연마제가 유리 표면에 남기 쉽고
라미네이트 공정에서 영향을 줄 수 있다. |
사양 변경에 대한 대응
- 기판 크기 변경
- 제거 폭 변경
- 레이저 헤드 증설 등등
장치 기본 구성
- 레이저 시스템
- 반출ㆍ반입 컨베어
- 진공 펌프
- 냉각장치(Chiller)
- 집진기
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